Mahitaji ya kupima
Scan mstari kupima tofauti ya kipande na mipako kwa substrate kama msingi, yaani unene wa mipako

Maelezo ya jumla ya vipengele kuu
1. Noncontact kupima, Integrated kubuni
2. Wide aina ya matumizi, rahisi kufunga na kuondolewa
3. ± 0.5 kwa ± 1μm kurudia usahihi kuhakikisha
4. moja line scan, kasi inaweza kufikia 50mm / s, kuboresha sana kasi ya kugundua
5. offline kugundua, unene wa kuhifadhi data, kuunda takwimu ya usimamizi / uchambuzi wa msingi wa data
6. tajiri alama kazi, OK, NG vidokezo, ufuatiliaji kupima mchakato mzima, kudhibiti ubora, kuboresha ufanisi

Matokeo ya kupima
Unene wa mipako ni karibu 18μm ± 1μm

Kutatua matatizo ya vifaa vya kupima hatua hii

1. kuna mahitaji ya vifaa vya kupima
2. kupima kuwasiliana, kuharibiwa kwa vifaa vya kupima
3. kipimo mbalimbali ndogo, nafasi si uhakika, kipimo vigumu
Kipimo cha kasi polepole, usahihi wa chini, makosa makubwa ya kupima

5. Muundo tata, gharama kubwa